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概要質量流量計是用來測量或控制氣體流量的一種設備

概要MARK3系列是在未改變質量流量控制器所必須的品質特性的條件下*實現(xiàn)成本降低的量產產品

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概要搭載采用了冷卻檢測方式的流量傳感器特征通過采用數(shù)字回路，實現(xiàn)了高精度?高速響應

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