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概要它是搭載有溫控閥的基本型號

規(guī)格SEC-Z512X和SEC-Z522X數(shù)字式/模擬式質(zhì)量流量控制器,適用于50slmN2標(biāo)稱流量

數(shù)字式金屬密封;流量范圍:10sccm-5slm;精度:1%ofsetpoint(25%-99%FS);0

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